Болометр
Боло́метр (от греч. βολή – бросок, удар, луч и …метр), прибор для обнаружения и измерения энергии электромагнитного излучения (главным образом инфракрасного), действие которого основано на изменении электрического сопротивления термочувствительного элемента при его нагревании вследствие поглощения энергии измеряемого излучения. В сочетании со спектрометром болометр служит для определения спектрального состава излучения. Является разновидностью приёмников оптического излучения.
Термочувствительный элемент болометра обычно представляет собой тонкий слой металла (0,1–1 мкм) или полупроводника с большим температурным коэффициентом сопротивления (0,04–0,06 °К–1 и более).
Для увеличения поглощения энергии рабочая поверхность слоя зачерняется. В качестве материала термочувствительного элемента используют никель, золото, висмут (металлические болометры).
Также используются смеси оксидов марганца и никеля или марганца, никеля и кобальта (полупроводниковые болометры).
Чувствительный элемент монтируется на цоколе (подложке), теплоёмкость которого намного превышает теплоёмкость чувствительного элемента, при этом повышение температуры слоя, обусловленное поглощением падающего излучения, быстро выравнивается за счёт теплопроводности.
Изменение электрического сопротивления чувствительного элемента при нагревании приводит к изменению напряжения на нагрузочном резисторе, что и служит мерой энергии регистрируемого излучения.
Для спектральных измерений применяют компенсационные болометры, состоящие из двух термочувствительных элементов, которые включаются по схеме измерительного моста.
Болометры характеризуются:
чувствительностью (коэффициент преобразования энергии излучения в электрическое напряжение);
постоянной времени (время установления теплового баланса при облучении), определяющей быстродействие прибора;
порогом чувствительности, или пороговым потоком (минимальный поток, при котором сигнал близок или равен шумам).
Современные болометры имеют чувствительность 101–5∙103 В/Вт, пороговый поток 10–11–10–10 Вт/Гц1/2 и постоянную времени 10–3–2∙10–1 с.
Болометры широко применяются в регистрирующих системах быстродействующих ИК-спектрометров, для бесконтактного дистанционного измерения температуры нагретых и охлаждённых тел, а также для измерения сверхвысокочастотной мощности.
Особую группу составляют сверхпроводниковые болометры, работающие при глубоком охлаждении (3–15 К). Действие таких болометров основано на резком изменении электрического сопротивления при переходе некоторых металлов и полупроводников от нормального состояния к сверхпроводящему. В переходном диапазоне температур, составляющем доли градуса, температурный коэффициент сопротивления резко возрастает (до 50 на 1 К), что приводит к увеличению чувствительности болометров.
В сверхпроводниковых болометрах термочувствительные элементы изготовляют из олова, тантала, сплава ниобия с оловом, нитрида ниобия.
Пороговый поток энергии и постоянная времени составляют соответственно 3∙10–11–5∙10–14 Вт/Гц1/2 и 10–4–10–3 с.
Основной недостаток таких болометров – необходимость глубокого охлаждения и поддержания низкой температуры перехода с высокой степенью точности.
В Государственном оптическом институте имени С. И. Вавилова разработаны высокотемпературные сверхпроводниковые болометры на основе кремниевой мембранной технологии, не имеющие этого недостатка.