Визуальный контроль (в приборостроении)
Визуа́льный контро́ль, метод обнаружения и анализа внешних дефектов изделий электронной техники, возникающих на различных этапах производства, осуществляемый оператором с использованием оптических средств; один из видов контроля качества электронных приборов. Наиболее трудоёмким считается визуальный контроль монолитных и гибридных интегральных схем (ИС), и особенно кристаллов со сформированными на них биполярными или МДП (металл – диэлектрик – полупроводник)-структурами. Обычно контролю подвергаются кристаллы после всех процессов литографии и разделения пластин. Однако часто, исходя из условий технологии изготовления ИС, визуальный контроль кристаллов проводят на неразделённой полупроводниковой пластине.
При визуальном контроле выявляют поверхностные дефекты полупроводниковых пластин, коррозию и отслаивание металлических плёнок, нестравленные участки, смещение металлизированной разводки, открытые участки р-n-переходов, смещение слоёв при фотолитографии, дефекты напыления резисторов и т. п. При определении дефектов пользуются эталонными образцами изделий электронной техники, конструкторскими чертежами, фотографиями, операционными картами технологического процесса; величи́ны отклонений оценивают сравнением с заданными на чертеже или фотографии размерами топологических элементов кристалла.
Основным техническим средством визуального контроля является микроскоп (например, в микроэлектронике широко применялся металлографический микроскоп ММУ-З). Однако длительная работа с микроскопом приводит к быстрой утомляемости зрения контролёра и к снижению качества контроля. В целях повышения эффективности контроля созданы установки визуального контроля с автоматической подачей и съёмом контролируемого образца, программируемым перемещением координатного стола с образцом относительно входного зрачка микроскопа, автоматизированной регистрацией и удалением бракуемых изделий. Особенно перспективны автоматизированные установки визуального контроля, оснащённые микропроектором с растровым экраном, дающим достаточно яркое и чёткое изображение, приближающееся по качеству к изображению, получаемому с помощью микроскопа.