Спектроскопия характеристических потерь энергии электронами
Спектроскопи́я характеристи́ческих поте́рь эне́ргии электро́нами (СХПЭЭ), 1) один из видов электронной микроскопии, основывающийся на измерении потерь энергии неупруго рассеянных электронов после облучения исследуемой поверхности, при котором измеряемое распределение электронов по энергии даёт информацию о потерях энергии на возбуждение колебательных состояний атомов поверхности или адсорбатов (10–3–1 эВ), плазмонов и межзонных переходов (1–102 эВ) в исследуемом образце; 2) совокупность методов анализа потерь энергии электронами в широком диапазоне энергий (10–3–104 эВ), в частности глубоких уровней (102–104 эВ). Чаще всего СХПЭЭ используется для определения плотности электронов, принимающих участие в плазменных колебаниях, а также для определения химического состава образцов и градиентов распределения примесных элементов по глубине исследуемых образцов.