Алкоксисила́ны, кремнийорганические соединения общей формулы R′_nSi(OR)_4–n, где R′ – алкил, арил, галоген, водород, R – алкил, n=0–3. Алкоксисиланы – жидкости, растворимые в органических растворителях; реагируют с водой, высшими спиртами, фенолами. При гидролизе образуют силанолы R′_nSi(OН)_4–n. При действии металлоорганических соединений алкоксигруппы заменяются на алкильные, арильные. Алкоксисиланы получают этерификацией хлорсиланов, алкил- и арилхлорсиланов спиртами.

Наиболее важное значение имеют метокси- и этоксисиланы, которые получают действием спиртов на металлический кремний в присутствии CuCl. Алкоксисиланы используют как сырьё в производстве полиорганосилоксанов, в качестве отвердителей, вулканизирующих агентов для кремнийорганических полимеров, а также в качестве гидрофобизаторов, аппретирующих материалов, наполнителей. Из тетраэтоксилана Si(OC₂H₅)₄ и полимеров на его основе (этилсиликатов) получают формы для литья металлов, тампонажные материалы для нефтяной промышленности. Циклические алкоксисиланы на основе триэтаноламина – силатраны – обладают высокой биологической активностью и применяются как бактерициды, стимуляторы регенерации тканей, роста растений и др. (Хананашвили Л. М. Химия и технология элементоорганических мономеров и полимеров. М., 1998).