Тензорезистивный эффект
Тензорезисти́вный эффе́кт (пьезосопротивление), изменение электрического сопротивления (проводимости) кристаллов под действием всестороннего сжатия (растяжения) или одноосной деформации. Тензорезистивный эффект особенно велик в полупроводниках, где он связан с изменением энергетического спектра носителей заряда при деформации (в частности, с изменением ширины запрещённой зоны и энергии ионизации примесных уровней), с относительным изменением энергии отдельных долин в многодолинных полупроводниках, с расщеплением дырочных зон, которые при отсутствии деформации вырождены, с изменением эффективной массы носителей заряда (см. Зонная теория). Кроме того, деформация влияет на процессы рассеяния носителей заряда (появление новых дефектов, изменение фононного спектра). Всё это приводит к изменению концентрации и подвижности носителей заряда и, следовательно, к изменению проводимости.
Тензорезистивный эффект используется в тензодатчиках, применяемых в тензометрах.
Литература
- Фридкин В. М. Сегнетоэлектрики – полупроводники. – Москва : Наука, 1976. – (Физика полупроводников и полупроводниковых приборов).
- Бонч-Бруевич В. Л. Физика полупроводников : учебное пособие / В. Л. Бонч-Бруевич, С. Г. Калашников. – Москва : Наука, 1990.
- Физические основы, методы исследования и практическое применение пьезоматериалов / В. Головнин, И. Каплунов, О. Малышкина [и др.]. – Москва : Техносфера, 2019. – (Мир материалов и технологий ; VI. 39).