Рентгенофлуоресце́нтный ана́лиз (РФА), физический метод определения элементного состава вещества по вторичным (флуоресцентным) рентгеновским спектрам; вариант рентгеновского спектрального анализа. Качественный РФА выполняют на основе исследования положения линий характеристического излучения в спектре изучаемого образца, количественный РФА осуществляют с учётом интенсивностей излучения этих линий. Предложен в 1928 г. немецкими физиками Р. Глоккером и Х. Шрайбером. Большой вклад в развитие РФА внесли российские учёные М. А. Блохин, Н. Ф. Лосев, Н. И. Комяк, В. П. Афонин и др.

Для возбуждения флуоресценции атомов исследуемого образца применяют рентгеновские трубки, радиоактивные изотопы (⁵⁵Fe, ¹⁰⁹Cd, ²⁴¹Am и др.) или синхротронное излучение. Выделяют следующие типы рентгеновских спектрометров: волновые или сканирующие, многоканальные, энергодисперсионные, спектрометры с полным внешним отражением и микрорентгенофлуоресцентные спектрометры с поликапиллярными линзами. РФА позволяет определять содержание всех элементов с атомным номером не ниже 6 (начиная с углерода; в некоторых случаях возможно определение В и Ве), если их содержание в пробе превышает 0,000 01–0,001 %; продолжительность анализа в большинстве случаев составляет от 10 до 100 с на определение содержания одного элемента (для одноканальных сканирующих спектрометров) или на определение содержаний 10–20 элементов (для многоканальных спектрометров). Метод позволяет выполнять анализ пробы без её разрушения.

Применяется в научно-исследовательских лабораториях, на обогатительных фабриках цветной металлургии, на металлургических заводах, при исследовании горных пород и минералов, в экологии (анализ почв, растительных материалов, природных и сточных вод, образцов воздушной пыли), при исследовании объектов культурного наследия, в биологии, криминалистике, космохимии и т. д.