Аннотация

Ионное распыление

Ио́нное распыле́ние, разрушение поверхности твёрдых тел в результате в . Ионное распыление происходит либо в процессе т. н. , когда на обрабатываемое тело подаётся отрицательный потенциал, движение положительных в направлении поверхности этого тела, либо с помощью сформированного и ускоренного до необходимой энергии потока ионов. Широко применяется в технологии для поверхности подложки, нанесения путём на обрабатываемую поверхность распылённого вещества.