Нарезка сапфировых кристаллов методом ЛУТ
Нарезка сапфировых кристаллов методом ЛУТ. В 2012 г. Научно-производственным центром «Лазеры и аппаратура ТМ» (г. Зеленоград) на основании лицензионного договора с патентообладателем метода лазерного управляемого термораскалывания профессором В. С. Кондратенко была создана первая российская промышленная установка «МЛП1-1060/355» для прецизионной резки подложек из сапфира на отдельные кристаллы для производства светодиодов и других изделий и приборов микро- и оптоэлектроники. Помимо сапфира, установка позволяет осуществлять размерную резку других хрупких неметаллических материалов в двух взаимно перпендикулярных направлениях. Это первая российская реализация промышленного способа резки хрупких материалов в пересекающихся направлениях, разработанного и запатентованного В. С. Кондратенко и А. С. Наумовым (Патент № 2404931). Этот способ является развитием метода лазерного управляемого термораскалывания.
Реализованная прецизионная резка приборных пластин из сапфира и других хрупких материалов модернизированным методом лазерного управляемого термораскалывания, обеспечивающим рез в пересекающихся направлениях, сохранила высокую эффективность процесса реза и решила проблему необходимости создания большого числа начальных надрезов (насечек) на кромке нарезанных в первом проходе полосок.
Воплощённое «в железе» лазерное управляемое термораскалывание расширило диапазон толщин разрезаемых приборных пластин и размеров получаемых кристаллов. Значительно повышены производительность и качество резки. Как следствие, один из важнейших параметров светодиодов – яркость – достигает бо́льших значений, чем при использовании других методов резки пластин из сапфира и других материалов, за счёт высокого качества кромок получаемых кристаллов.
Литература
- Патент № 2404931 Российская Федерация, МПК С03В 33/09 (2006.01). Способ резки пластин из хрупких материалов : № 20339132338/03 : заявл. 28.08.2009 : опубл. 27.11.2010 / Кондратенко В. С., Наумов А. С.
- Кондратенко В. С. Новая технология лазерной резки сапфировых пластин на кристаллы / В. С. Кондратенко, А. С. Наумов // Приборы. – 2011. – № 10 (136). – С. 37–41.
- Технология прецизионной лазерной резки сапфировых пластин / В. С. Кондратенко, А. К. Зобов, А. С. Наумов, Лу Хунг-Ту // Фотоника. – 2015. – № 2 (50). – С. 42–53.
- Иванов В. И. Современные методы и оборудование для резки приборных пластин на кристаллы / В. И. Иванов, В. С. Кондратенко // Успехи прикладной физики. – 2018. – Т. 6, № 2. – С. 174–183.
- Лу Хунг-Ту. Разработка оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания / Лу Хунг-Ту, А. С. Наумов // Базис. – 2019. – № 1 (5). – С. 31–36.
- Современные технологии лазерной резки материалов микро- и оптоэлектроники / В. С. Кондратенко, В. В. Кадомкин, А. С. Наумов, И. Э. Великовский // Оптический журнал. – 2022. – Т. 89, № 2. – С. 68–79.