БиблиографияПиролитическое осаждениеЛитература:Осаждение из газовой фазы / под ред. К. Пауэлла [и др.] ; сокр. пер. с англ. М. И. Юрченко. – Москва : Атомиздат, 1970.Черняев В. Н. Технология производства интегральных микросхем : учебное пособие для вузов. – Москва : Энергия, 1977.Опубликовано 9 октября 2023 г. в 10:58 (GMT+3). Последнее обновление 9 октября 2023 г. в 10:58 (GMT+3).Связаться с редакцией