МедиаПиролитическое осаждениеВсеИзображенияИзображенияСхема конструкции установки формирования плёнок методом химического осаждения из газовой фазы при низком давлении.Схема конструкции установки формирования плёнок методом химического осаждения из газовой фазы при низком давлении.