Марголин Владимир Игоревич
Марго́лин Влади́мир И́горевич (род. 19.11.1946, Ленинград, ныне Санкт-Петербург), советский и российский учёный, доктор технических наук (1998), профессор (2000).
Биография
Родился в семье военнослужащего. В 1971 г. окончил Ленинградский государственный электротехнический институт имени В. И. Ульянова (Ленина) [ЛЭТИ; ныне Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова (Ленина)]. По распределению был направлен в Конструкторское бюро электронной технологии, из которого в 1972 г. вернулся в ЛЭТИ. В 1984 г. защитил кандидатскую диссертацию (технические науки), в 1998 г. – докторскую диссертацию. В 2000 г. Марголину присвоено учёное звание профессора. С 2006 г. действительный член Академии инженерных наук имени А. М. Прохорова.
Научная деятельность
Основные работы посвящены нанотехнологии и физикохимии органических и неорганических композиционных материалов, разработке методов прецизионной литографии (электронной, ионной и рентгеновской), в числе прочего и на высокошероховатых подложках; лазерной обработке изделий радиоэлектроники сложной конфигурации.
Марголин разработал и внедрил (научно-производственное объединение «Светлана») методики компенсации «эффекта близости», повышения производительности и разрешающей способности прецизионной литографии на шероховатых керамических подложках, позволяющих за счёт технологических приёмов улучшить параметры технологических режимов.
Разработанный им метод лазерной литографии на внутренней поверхности для лазерного излучения полых цилиндрических керамических и стеклянных образцов был внедрён на НПО «Электрон» (ныне научно-исследовательская производственная компания «Электрон») и позволил сократить время изготовления устройства типа «дефлектрон» с 3–4 дней до 8,5 мин, с повышением качества изделия и сокращением брака.
Разработанные методики процесса ионно-электронной эмиссионной литографии в высоковольтном тлеющем разряде с керамических и стеклянных матриц позволяют реализовать методы групповой обработки подложек в нанодиапазоне.
Проведены экспериментальные исследования режимов экспонирования основных электронорезистов; разработаны технологические режимы повышения производительности и разрешения процесса экспонирования электронорезиста.
Марголиным разработаны технологические режимы и технологические приёмы низковольтной электронной литографии, позволяющие повысить как производительность процесса экспонирования, так и его разрешающую способность на исходном аппаратурном комплексе.
Разработаны методики определения удельной критической энергии полимеризации (деструкции) резиста, позволяющие оценивать литографические характеристики резиста вне зависимости от вида активного излучения (УФ, рентген, электроны) и его параметров (энергия, длина волны).
В сфере нанотехнологии Марголин исследует области фрактальной геометрии и физики, синтеза фрактальных органических и неорганических наноразмерных плёнок и исследует их свойства. Особый интерес представляют процессы самоорганизации и самокоррекции вещества в наноразмерном состоянии, роль слабых и сверхслабых воздействий, процессы синергетики в наномире, синтез наноразмерных частиц и плёнок (Физико-химические процессы синтеза наноразмерных объектов. 2012).
Автор и соавтор более 300 научных работ, 12 монографий, 14 авторских свидетельств СССР, 15 патентов и заявок Польской Народной Республики, 11 патентов Российской Федерации. В составе коллектива авторов с участием Марголина в 2016 г. были подготовлены и переданы в Санкт-Петербургский научный центр (СПбНЦ) РАН предложения по материаловедческому обеспечению российской программы освоения Арктического пространства.
Член секции «Химии поверхности и синтеза наночастиц» научного совета РАН по неорганической химии, научного совета по проблемам материаловедения, механики, прочности при президиуме СПбНЦ РАН по направлению «Конструкционные наноматериалы и нанотехнологии», Международного союза материаловедов, редколлегии журнала «Бутлеровские сообщения», Нанотехнологического общества России. Один из участников разработки национальной доктрины РФ в области нанотехнологий (Марголин. 2006).
Общественная и педагогическая деятельность
Научный руководитель и председатель жюри секции прикладной и фундаментальной экологии Всероссийских юношеских научно-практических конференций «Будущее сильной России – в высоких технологиях». Марголин участвует в организационной и научно-исследовательской работе в рамках соглашений о стратегическом партнёрстве с предприятием «Водтрансприбор», Государственным научным центром Российской Федерации – концерном «Морское подводное оружие – Гидроприбор» и Государственным научным центром РФ – предприятием «Центральный научно-исследовательский институт конструкционных материалов "Прометей" имени И. В. Горынина».
Награды
Золотая медаль А. Чохова Российской инженерной академии (2010). Звание «Почётный работник высшего профессионального образования Российской Федерации» (2016).
