Аннотация

Химическое осаждение из газовой фазы

Хими́ческое осажде́ние из га́зовой фа́зы, метод осаждения на подложке твёрдого вещества из газообразных или парообразных посредством . Является одним из способов получения углеродных материалов (, ) и (, , ).