Библиографический источник

Технология производства интегральных микросхем

учебное пособие для вузов / В. Н. Черняев ; под ред. А. А. Васенкова

Заглавие:: Технология производства интегральных микросхем
Автор:: Черняев Владимир Николаевич
Место издания:: Москва
Издатель:: Энергия
Дата издания:: 1977
Объём:: 375 с.
Сведения о библиографии:: Список лит.: с. 364-366 (53 назв.)
Рубрики:: Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство - Учебники и пособия
Язык текста:: Русский