- Заглавие:
Справочник по технологии микроэлектронных устройств
- Автор:
Готра Зенон Юрьевич (1942-2021)
- Место издания:
Львов
- Издатель:
Каменяр
- Дата издания:
1986
- Объём:
287 с.
- Сведения о библиографии:
Библиогр.: с. 284-285
- Язык текста:
Русский
Библиографический источник
Справочник по технологии микроэлектронных устройств
З. Ю. Готра