Библиографический источник

Silicon processing for the VLSI era

S. Wolf

Заглавие:: Silicon processing for the VLSI era
Автор:: Wolf S.
№ и название тома:: Vol. 4. Deep-submicron process technology
Место издания:: Sunset Beach, CA
Издатель:: Lattice
Дата издания:: 2002
Объём:: 822 p.
ISBN:: 978-0961672171
Язык текста:: Английский