Библиографический источник

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур

В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов

Заглавие:: Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
Автор:: Киреев Валерий Юрьевич
Место издания:: Москва
Издатель:: Радио и связь
Дата издания:: 1983
Объём:: 126 с.
Серия:: Массовая библиотека инженера «Электроника» ; вып. 36
Сведения о библиографии:: Библиогр.: с. 121-125 (92 назв.)
Ключевые слова:: Микроэлектронные схемы интегральные - Травление
Язык текста:: Русский