Библиографический источник

Осаждение из газовой фазы

под ред. К. Пауэлла [и др.] ; сокр. пер. с англ. М. И. Юрченко

Заглавие:: Осаждение из газовой фазы
Место издания:: Москва
Издатель:: Атомиздат
Дата издания:: 1970
Объём:: 470 с.
Язык текста:: Русский