Плюснин Н. И. Морфологические превращения в нанофазном смачивающем слое меди на кремнии, активированные воздействием зонда атомно-силового микроскопа. Большая российская энциклопедия

Заглавие:: Морфологические превращения в нанофазном смачивающем слое меди на кремнии, активированные воздействием зонда атомно-силового микроскопа
Автор:: Плюснин Н. И.
Объём:: 9 с.
Аннотация:: С помощью атомно-силовой микроскопии на воздухе в нанофазном смачивающем слое Cu<SUB>2</SUB>Si на подложке Si(001) селективно активирован фазовый переход в более стабильный силицид Cu. Этот переход сопровождался увеличением латерального размера зерен, их высоты и уменьшением их плотности. Полученный эффект может быть использован для формирования упорядоченных ансамблей наноостровков и нанолитографии.
Язык текста:: Русский
Сведения об источнике:: Письма в Журнал технической физики. – 2018. – Т. 44, № 5. – С. 16–24.
Электронная версия:: Перейти