Библиографический источник

Металлизация ультрабольших интегральных схем

учебное пособие для студентов / Д. Г. Громов, А. И. Мочалов, А. Д. Сулимин, В. И. Шевяков

Заглавие:

Металлизация ультрабольших интегральных схем

Место издания:

Москва

Издатель:

БИНОМ. Лаборатория знаний

Дата издания:
Объём:

277 с.

ISBN:

978-5-9963-0915-3

Аннотация:

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Рубрики:

Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Большие и сверхбольшие интегральные схемы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Учебник для высшей школы

Язык текста:

Русский

Электронная версия:
Перейти
Дата публикации:
Дата публикации: