Лазерное сверление микроотверстий в стекле

5 с.

Приведены результаты успешного применения метода лазерного сверления микроотверстий диаметром 30 - 200 мкм в стеклах толщиной от 0,1 до 0,8 мм. Достижение высокого качества отверстий при высокой производительности процесса обеспечивается благодаря использованию в процессе прошивки отверстий иммерсионной охлаждающей жидкости, находящейся в контакте с нижней поверхностью стекла

иммерсионная охлаждающая жидкость, лазерное сверление, микроотверстие, стекло, glass, immersion coolant, laser drilling, Microhole

Русский

Стекло и керамика. – 2020. – № 2. – С. 3–7.