Пресс Ф. П. Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Москва, 1978. Большая российская энциклопедия

Заглавие:: Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Автор:: Пресс Феликс Павлович
Место издания:: Москва
Издатель:: Советское Радио
Дата издания:: 1978
Объём:: 96 с.
Серия:: Массовая библиотека инженера. Электроника ; 18
Сведения о библиографии:: Список лит.: с. 92-95 (71 назв.)
Аннотация:: Рассмотрены основные составляющие фотолитографического метода: светочувствительные материалы, собственно технология фотолитографии, применяемое современное оборудование. Книга рассчитана на широкий круг читателей. Технологи, знакомые с фотолитографией, найдут в ней практические указания и новые сведения. Инженеров, работающих в других областях, могут заинтересовать современные возможности и перспективы развития фотолитографии.
Язык текста:: Русский
Электронная версия:: Перейти