- Автор:
- Валиев К. А.
- Место издания:
- Москва
- Издатель:
- Наука
- Дата издания:
- 1990
- Объём:
- 527,[1] с.
- Сведения о библиографии:
- Библиогр. в конце глав
- ISBN:
- 5-02-014381-2
- Ключевые слова:
- Микролитография
- Язык текста:
- Русский
Физика субмикронной литографии
К. А. Валиев