- Заглавие:
Characterization of post-copper CMP surfaces with scanning probe microscopy. Part 1: Surface leakage measurement with conductive atomic force microscopy
- Автор:
Dominget A.
- Объём:
6 p.
- Язык текста:
Английский
- Сведения об источнике:
Applied Surface Science. – 2006. – Vol. 252, № 22. – P. 7760–7765.
Библиографический источник
Characterization of post-copper CMP surfaces with scanning probe microscopy. Part 1:...
A. Dominget, J. Farkas, S. Szunerits