Лазерный отжиг
Ла́зерный о́тжиг, физическое явление и метод быстрой ориентированной кристаллизации твёрдых тел под действием импульсного лазерного излучения высокой интенсивности. Лазерный отжиг положен в основу научного направления и технологии импульсной модификации материалов интенсивными пучками электромагнитных волн, электронов, ионов. Уникальными и технологически важными особенностями лазерного отжига являются высокая пространственная локальность модифицирования тонких слоёв и отдельных участков поверхности с размерами менее 0,1 мкм; отсутствие ростовых дефектов (дислокаций, кластеров примесей и др.) в кристаллических слоях, подвергнутых отжигу; повышенный уровень растворимости примесей в кристаллах, в десятки раз превышающий их равновесную растворимость.
